국내 최대 규모의 반도체 제조기술전시회인 ‘세미콘코리아 2016(SEMICON Korea 2016)’이 1월 27일부터 29일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최됐다.
29회째를 맞는 이번 행사는 ‘Connect to the Future, Markets, Technology, and People’을 주제로, 전 세계 반도체 장비재료 산업을 선도하는 20개국 530개 이상 업체가 역대 최대 규모인 1,870개 부스 규모로 참여해, 마이크로 전자분야의 최신 공정기술과 장비, 재료 등을 선보였다.
이번 전시회는 시놉시스, 텍사스 인스트루먼트, 아우디에서 초청된 세 연사의 기조연설과 함께 개막이 됐다. ‘혁신: 미래를 창조하다(Innovation: Inventing the Future)’를 주제로 각기 다른 세 분야의 전문가가 반도체의 미래를 조망했다.
같은 기간 LED코리아 2016이 세미콘코리아 2016와 동시에 개최됐으며, LED 칩 제조 및 응용과 관련한 최신 기술적 관점들을 소개하는 LED 기술 컨퍼런스도 함께 열렸다.
특히, 이번 ‘SEMICON Korea 2016’ 에서는 지멘스를 비롯한 ABB코리아, 보쉬렉스로스코리아, 한국야스카와전기, 트라이텍, 오토닉스 등 제조자동화 업계를 대표하는 업체들이 출품, 반도체 분야에 최적화된 신기술과 제품을 대거 선보였다. 특히 대부분의 자동화 기업들이 IIoT(Industrial Internet of Things) 및 Industry 4.0의 기술 트렌드에 맞춰, 반도체 업계의 스마트 팩토리를 구현할 수 있는 자사의 기술력을 홍보하는데 초점을 맞춘 것이 이번  ‘SEMICON Korea 2016’의 특징이다.
기획/취재 최교식 기자  cks@engnews.co.kr

신제품을 대거 선보이면서, 전시기간 중 참관객을 성공적으로 끌어 모은 한국야스카와전기 부스전경.

한국야스카와전기는 이번 전시기간 동안 Sigma-7(∑-7) 시리즈 서보 드라이브 제품군과 리니어 제품군, DD모터, VIPA PLC, MP 시리즈 모션 컨트롤러, 반도체 웨이퍼 이송용 로봇 등을 선보이면서, 반도체 및 디스플레이 등 모션 분야에서 필요로 하는 토탈 솔루션을 공급할 수 있는 강화된 자사의 위상을 효과적으로 홍보했다. 한국야스카와전기는 특히 이번 ‘SEMICON Korea 2016’ 기간 중 다수의 신제품을 쏟아내면서, 전시기간 내내 참관객을 끌어 모으는데 성공했다.

최근 M&A를 통해 야스카와 제품군에 포함된 VIPA PLC 부스에서는 IMC7 모션 모듈을 출시하면서, EtherCAT CPU로 I/O와 서보까지 제어하는 데모를 보여준 것이 하이라이트.

이번 전시기간 중 한국야스카와전기의 관전 포인트는 PLC와 모션 컨트롤, 서보 드라이브의 토탈 솔루션 공급능력으로, 한국야스카와전기는 자사의 VIPA PLC와 MP 모션 컨트롤러, Sigma-7 서보 드라이브를 Modbus TCP와 EtherCAT 통신으로 연결해 데모를 시연했다.

또 MP3300은 업계 최고의 스캔 동기화가 가능한 Stand Alone 타입의 Motion Controller이며, MP3200은 유닛을 접속하는 것만으로 모션과 로봇 시스템의 융합이 가능한 Motion Controller로서 초고성능 CPU를 탑재하고 있다.

VIPA PLC와 MP 모션 컨트롤러, Sigma-7 서보 드라이브를 통신으로 연결한 데모 시연

특히 기존의 ∑-5 시리즈에 이어 야스카와전기의 주력 서보제품군으로 자리 잡은 ∑-7 시리즈에 대한 대대적인 홍보가 눈길을 끌었다.

시그마-7 시리즈는 속도주파수응답을 3.1kHz로 업계 최고수준으로 높였으며, 업계 최고의 24비트 분해능을 갖춘 것이 특징. 특히 국내 최초로 Safety SIL3에 대응하는 제품으로 출시가 됐으며, IEC61508 SIL3을 채용함으로써, Safety 릴레이가 필요하지 않다.

한편, 야스카와전기는 요꼬가와전기의 DD모터를 인수하면서, DD모터 제품 포트폴리오를 54종으로 대폭 확대했는데, 이번 전시회에서는 SGM7D 코어 부착 Outer Rotor를 소개하면서, 기존 Inner Rotor 제품군에 추가된 ∑-7 시리즈 DD모터 제품군을 홍보했다. 이 SGM7D 코어 부착 Outer Rotor는 업계 최고 성능의 24비트 엔코더를 탑재하고 있으며, 다 회전 앱솔루트 엔코더 대응이 가능하다. 이외에 SGMCS Coreless Inner Rotor는 코어리스 방식에 따른 저 코깅으로 속도 불균형이 없는 매끄러운 동작을 실현한다.

이와 함께 LCD, OLED 검사기 등 기존의 아날로그/펄스열 지령방식에서 다축 동기제어가 가능한 네트워크 MECHATRO LINK-III에 대한 홍보에도 역시 초점이 맞춰진 전시가 진행됐다.

이번 전시회의 또 한 가지 하이라이트는 용도 최적화 기능에 대응하는 옵션으로 선보인 ∑-7 FT 시리즈다.

∑-7 FT 시리즈는 ∑-7 시리즈와 동일 라인으로, 압력 피드백 제어나, 정점트리거 출력 기능, 고정도 토크 제어 기능 등 고객이 필요로 하는 장비별 특색에 맞는 기능을 제공하는 것이 목적으로, 지난 11월 일본에서 개최된 ‘SCF2015’에서도 선보여 관심을 끌었다.

압력피드백 제어와 고정도 토크제어 기능은 Die Bonder, Servo Press, Mold M/C 등에 적용될 수 있으며, 정점트리거 출력 기능은 반도체 후공정 장비나 Vision과 연계된 장비에 적용될 수 있다.

FT40은 물체의 압력 제어를 할 때, 상위 PLC로 압력 피드백을 받던 기존 방식과 달리, 서보에서 압력 피드백을 바로 받을 수 있으며, FT21은 거리 측정을 할 때 레이저 변위 센서 출력을 상위 PLC에서 받던 기존 방식과 달리, 서보에서 다이렉트로 받을 수 있다. 전시 기간 중에는 두 개의 리니어 모터로 토크 어시스트 기능을 시연해 보였다.

테이블 운전방식으로 PLC 없이 운전할 수 있는 기판 타입의 서보 드라이브 ∑-S 시리즈 소개

한국야스카와전기는 또 저가격을 실현한 기판 타입의 서보 드라이브 ∑-S 시리즈를 소개했다. 기존의 서보에 비해 저가격을 실현한 이 제품은 정격 3000min