미국 Oregon 주 Beaverton시에 위치한 측정 장비 회사인 Cascade Microtech은 오늘 2개의 새로운 Pyramid probe card를 시장에 내놓았다. 단번에 고성능 반도체 (65 nm, 45 nm, 및 그 이상 프로세스) 에 흐르는 DC와 RF 신호를 정밀하게 측정 하여 생산 측정의 비용를 감소시켜 주는 기능을 가지고 있다. 이들 선두급 probe card들은 Pyramid Plus라 불리는 Cascade Microtech의 새로운 파라미터 추출용 probe card제조 기술에 의해 만들어졌다. Pyramid Plus는 보다 나은 기기적 성능, 낮은 leakage 및 contact 저항, 최저 인덕턴스를 제공하여 이전 보다 훨씬 작은 반도체 칩을 신속하면서도 가장 정확하고도 신뢰성있는 측정을 제공한다. Pyramid Plus에 사용된 Cascade Microtech의 독점적인 막(membrane) 기술은 1fA의 최첨단 저 leakage 전류, 5초 이하의 settling time, 향상된 파라미터 추출 기능, 적은 영역에 불구한 신뢰성 있는 probing 접촉 등 성능 면에서 다양한 개선점을 갖추게끔 하였다. Cascade Microtech의 막 기술은 20 GHz 전송라인을 가능하게 한 것과 probe 끝까지 보호된 전송선로 (guarded trace)를 만들 수 있다는 면에서 유일하며, 이로서 선로의 혼선을 줄이고 settling time을 개선할 수 있었다. "실리콘 기술이 정밀해고 측정 대상이 작아짐으로써 scribe line들에 위치 할 생산 모니터용 측정 구조물의 크기적 제한에 의해 전자적 기계적 도전들이 커지고 있습니다. 작아진 측정 대상을 기존의 기술로 하기에는 생산량 검사, 처리 조절 검사, 웨이퍼 허용 등에 대해 정확성과 신뢰도가 문제가 되고 있습니다. 오직 Cascade Microtech 만이 이들 작은 측정 대상의 DC와 RF를 정확히 측정하기 위한 필요한 정밀 기술을 갖추고 있습니다.”고 Cascade Microtech의 CEO인 제프 와일드씨는 전한다. 칩의 크기가 줄어들고 프로세스의 기능이 복잡해짐에 따라, 측정 및 추출해야 할 주요 파라미터들은, 적어진 DC와 leakage 전류 그리고 고밀도화된 interconnection의 구조 등의 위해 어려워지고 있다. 이와 더불어, RF 수동 소자, 고속 CMOS, 작은 junction에 있는 reactance 등을 측정하는 것 또한 RF 기술의 발전에 의해서 일어난 측정상의 어려움들이다. 이와 같은 낮은 DC 전류와 고속 RF를 동시에 정밀하게 측정 할 수 있다는 면에서 Cascade Microtech의 Pyramid probe card가 유일하다. 이처럼 동일 probe card에서 DC와 RF측정을 유연하게 정 할 수 있는 기능은 현존하는 다른 probe card 기술에서 찾아 볼 수 있다. Pyramid Plus는 소유자 비용을 줄인다 웨이퍼 제조사들은 생산 yield을 높이기 위해 die들의 면적을 지속적으로 늘이고 있는 반면에 scribe line들의 너비는 지속적으로 줄이고 있다. 이로 인해서 파라미터 추출용 측정을 위한 pad의 면적은 줄어들고 있고, 결과적으로 정확한 probe 접촉은 매우 어려운 과제로 대두되고 있다. Pyramid Plus 기술은 30 micro 미터 제곱만큼의 작은 pad에 대해서도 정확한 probe 접촉을 실현 할 수 있다. 또한 Cascade Microtech가 독점적으로 보유하고 있는 MicroScrub 기술은 보다 일관성있고 작은 긁힘 표시를 가능하게 함으로써, 긁힘에 의해 형성된 먼지 입자들에 의해 발생 할 수 있는 웨이퍼의 오염을 줄일 수 있다. 특히 in-line 생산 도중에 측정을 할 경우, 이러한 오염은 필수적 줄여야 한다. MicroScrub기술은 동일 probe card로 구리 pad 와 알루미늄 pad에 사용할 수 있기 때문에 probe card 및 prober의 개수를 줄일 수 있고, prober 장비를 설치를 바꿀 필요가 없음으로 소유자 비용을 절감 할 수 있다. 또한 Pyramid probe의 probe 끝의 영구적인 정렬과 일관된 contact 저항은 probe card의 수명을 연장시키며 저유지 비용이라는 새로운 관념을 소개하게 된다. 시스템의 구성, 가격, 납기 파라미터 추출용 Pyramid probe card는 DC전용 (PDC50) 혹은 DC + RF (PRF50) 통합의 형태로 주문 할 수 있으며 다양한 pad 크기와 leakage 허용 내역을 선택 할 수 있다. Probe card 즉시 주문 가능하며 가격 및 배달시간은 configuration에 따라 달라지게 된다. 파라미터 추출용 Pyramid probe card는 정밀한 DC 및 RF 파라미터 측정을 수행하는 Keithley S600 시리즈와 Agilent 4070/4080 시리즈와 가까운 호환성을 가지고 있다. 출처 : 캐스케이드마이크로텍