프로젝트 도입

에칭(Etching)은 반도체 생산 공정 중 웨이퍼 표면의 불필요한 박막을 제거하는 과정으로 매우 중요한 과정이며 모든 와이퍼는 완성되기까지 여러 번의 에칭(Etching)을 거쳐야 한다.

이번 어플리케이션 스토리의 고객은 전 세계적으로 유명한 CVD와 에칭(Etching) 장비 제조사 중 하나로 경쟁력 향상을 위해 PC 기반의 기술에 많은 투자를 하고 있다. 그들은 기계장비와 일렉트로닉 컨트롤 서킷의 규격의 축소를 원했는데 이것은 매우 중요하면서도 어려운 문제였다.

시스템 요구사항

고객은 아래의 요구 사항을 만족하는 SDCVD(Space divided CVD-ALD)와 드라이 에칭(Etching) 장비를 위한 새로운 특별한 기능을 갖춘 컨트롤러를 디자인하기를 원했다.

·장비 규격의 축소

·모션 컨트롤과 디지털 I/O 인터페이스의 통합

·모든 제품 정보의 MES와 CIM 시스템으로의 통합

프로젝트 실행

PCM-3370 인텔 펜티엄III PC/104-플러스 CPU 모듈

PCM-3240 4축 PC/104 모션 컨트롤 모듈

PCM-3618 8포트 RS-422/485 고속 통신 모듈

시스템 설명

이 솔루션에서 PCM-3370은 PCM-3240 모듈을 컨트롤하고 PCM-3240은 와이퍼를 컨트롤하며 PCM-3618은 시리얼 디바이스와 통신한다. PC-104 폼팩터는 기계 자동화 어플리케이션에 적합하다. 장비의 규격 축소와 CPU와 I/O 모듈 사이의 ‘핀 소켓’은 진동을 줄여준다. 어드밴텍의 ‘DiagAnywhere’ 유틸리티를 이용해, 원격 진단 기능을 쉽게 실행하여 작업 감독관은 원격에서 모니터하고 작동할 수 있으며, 중앙으로부터 작업 기록을 다운로드하거나 업로드 할 수 있다.

결론

이 새로운 컨트롤러는 기존 IPC 섀시와 비교하여 50% 정도의 공간 절약을 실현하였으며, 배선 통합과 테스트에 필요한 시간과 노력을 약 25% 단축 시켰고, CVD와 에칭 장비에 적용하는데 약37% 정도의 비용을 절감하였다.