어플라이드머티어리얼즈, 태양전지 제조를 위한 자동화 웨이퍼 검사 시스템 발표

세계 최고의 광발광(PL) 및 100% 자동화 검사 장비로 웨이퍼의 최종 효율 예측

어플라이드 베리셀 태양광 웨이퍼 검사 시스템

반도체, 평판디스플레이 및 태양전지 분야 글로벌 장비 업체인 어플라이드머티어리얼즈는 ‘제 8회 SNEC 국제 태양광 박람회’에서 고효율 태양전지의 생산비용을 절감하고 수율을 개선하기 위한 새로운 검사 장비인 ‘어플라이드 베리셀 태양광 웨이퍼 검사 시스템(Applied Vericell Solar Wafer Inspection System)’을 발표했다.

어플라이드 베리셀 검사 시스템은 100% 자동화로 수동 검사의 품질관리 한계를 해결했으며, PL(photoluminescence) 기술로 웨이퍼 전지의 효율을 자동으로 예측할 수 있고 품질 및 수율을 충족시키는 웨이퍼 공정을 통해 높은 수익성을 제공하는 것이 특징이다.

베리셀 시스템은 다중인식기능 및 최첨단 소프트웨어 알고리즘과 결합된 PL기술을 사용하여 베어 웨이퍼로부터 다결정 실리콘 웨이퍼에 대한 평균 예측치의 오차를 0.15% 미만으로 전지의 효율을 예측할 수 있다. 또한 저효율 웨이퍼를 제거하고 공정의 변경 요구를 확인함으로써, 고효율 전지의 생산을 전반적으로 개선시킬 수 있으며, 기존 생산 라인과 쉽게 통합할 수 있다.

베리셀 시스템의 통합된 다중인식모듈은 생산공정에서 결함이 있는 웨이퍼를 찾아 이를 제거하기 위해 자동으로 평가한다. 웨이퍼의 두께, 변화, 경사와 저항력 등과 같은 변수에 대해 측정하며 웨이퍼의 톱니 자국(saw marks), 깨진 가장자리, 얼룩, 미세 균열과 같은 결함을 탐지해 품질을 제어하고 비용을 최소화함으로써 제품 생산에 큰 이익을 제공한다.

베리셀 시스템은 실시간으로 데이터를 수집, 통합 및 분석하기 위해 사용되는 어플라이드머티어리얼즈의 수율 관리 소프트웨어와 함께 사용이 가능하다. 이 소프트웨어는 전체 생산 라인을 신속하게 파악하고 수율에 영향을 미치는 과정을 최적화 시킨다.

어플라이드머티어리얼즈 에너지 환경 솔루션 그룹의 태양광 제품 부문 부사장이자 총괄 책임자인 짐 멀린(Jim Mullin)은 “베리셀 시스템은 실시간으로 수율을 최적화 할 수 있다”라며, “고객들은 들어오고 나가는 웨이퍼의 품질을 효율적으로 추적할 수 있고, 수율과 비닝(binnig)을 개선하기 위해 제조 공정을 조정할 수 있다. PV산업은 ‘효율 시계’의 속도를 유지하고 최첨단 전지로 전환함으로써 제조 수율을 제어하는 것이 중요한 문제가 되었다. 베리셀 시스템은 여러 고객들에 의해 수율 예측과 제조의 수익성 증가에 대한 가치를 입증 받았다” 라고 덧붙였다.